前田龙太郎教授做客我校“前沿科学报告”

11月15日，应科技处、机电工程学院邀请，日本国立产业技术综合研究所前田龙太郎教授做客我校“前沿科学报告”，作了题为“Piezoelectric MEMS”的英文学术报告。此次报告会采用线上与线下相结合方式，由机电学院常博教授主持，副院长杨立军教授、李晨副教授和微纳机电研究所全体教师及部分研究生聆听了此次精彩报告。

前田龙太郎教授首先以基于压电材料的微机电系统（MEMS）为出发点，从压电材料原理、日本压电微器件发展现状、微机电系统市场发展与需求探讨MEMS的发展趋势。报告详细介绍了压电材料薄膜制备方法与工艺，压电MEMS微加工流程与工艺，以及封装关键工艺参数。报告最后分享了日本国立产业技术综合研究所（AIST）开发的基于压电MEMS技术的扫描微振镜器件、禽流感传感器、原子力显微镜探针、静电力传感器与振动传感器等微器件。报告结束后，学院师生积极向前田龙太郎教授请教关于压电MEMS制作工艺、器件设计、发展趋势等问题，前田龙太郎教授与师生热情交流。

微机电系统（MEMS）是在微电子技术基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技机械电子器件，是一项关系到国家科技发展和国防安全的关键技术。基于MEMS技术的传感器、致动器与微系统是推动智能制造、物联网、数字孪生以及元宇宙发展的重要技术基础。此次报告通过师生与国际上知名学者的学术交流活动，进一步促进我校国际科技交流与合作，推动我校微机电系统方向的发展。

新闻小贴士：

前田龙太郎，西安交通大学教授、博士生导师，日本国立产业技术综合研究所（AIST）名誉研究员、东京大学客座研究员。世界知名、日本著名的微纳加工制造领域、先进MEMS领域以及智能物联网领域专家。主要研究方向为，三维纳加工工艺，微机电系统（MEMS），基于微机电系统（MEMS）的低能耗传感器，基于以上开发的先进传感器及其集成技术，无线传感器的植入技术，进行实验动物和畜产动物的长期健康监测，以及医学手术辅助系统的研究和开发。

（核稿：夏祥林 编辑：郭姗姗）