报告题目：ROAD TO THE DEVELOPMENT OF MECHANICAL SENSORS USING PIEZORESISTIVE EFFECT

报  告  人: 杉山进  教授（Prof. Sugiyama Susumu）

报告时间：2022年5月20日 下午14:00

报告地点：线上（https://teams.live.com/meet/9588389833612）

研究生院 机电工程学院

2022年5月19日

报告人简介：

杉山进教授是日本MEMS技术的先驱、开拓者和领军人物，被誉为“日本MEMS之父”，带领丰田中央研究所半导体研究所的科学家和技术人员首次实现CMOS和MEMS传感器集成，发明了第一代用于汽车安全气囊的加速传感器，开拓了MEMS产业化时代；1997年加入立命馆大学（Ritsumeikan University），创立了MEMS加工实验室和参与创建了立命馆同步辐射加工中心，在LIGA技术上作出了突出贡献。杉山进教授是电气工程师学会会员、日本应用物理学会成员、日本机器人协会成员、日本机械工程师学会成员、日本电子产品封装研究所成员、美国电气和电子工程师学会成员，并获得了日本文部省大臣奖，日本电子电气学会终生成就奖。